색채 공초점 기술을 선도적으로 개발하는 하이퍼센이 세계 글로벌 측정 및 검사 시장에 동축 3D 라인 공초점 센서(HPS-LCX1000)를 출시했다.

이 센서는 반도체, 가전, 신에너지, 금속, 자동차 및 항공 분야의 측정 및 결함 감지에 필요한 효율적인 고정밀(0.1µm) 3D 검사 솔루션을 지원한다.

HPS-LCX1000은 기존 라인 공초점 센서에 비해 측면 해상도(1.1µm)와 동축 구조가 뛰어나다. 동축 설계는 입사 광선과 반사 광선이 서로 겹쳐 구멍, 급경사 및 돌출 부품이 있는 대상을 측정할 때 음영 문제를 해결한다.

HPS-LCX1000 센서의 기타 특징은 다음과 같다.

· 특히 투명하고 반사율이 높은 물체, 거울과 같은 표면, 액체 등 다양한 소재에 대한 높은 적응성
· 복잡한 기하학적 형태를 측정하는 고도의 기능
· 거울 면의 최대 경사각 ±45° 지원
· 한 번의 스캔으로 2D 이미지 및 3D 포인트 클라우드 데이터 생성
· 축 정밀도: 0.1µm
· 포인트 밀도: 2048포인트/프로파일
· 높은 스캔 속도: 최대 3만5000라인/초.

센서 헤드와 컨트롤러가 분리되는 설계로 센서의 발열로 인한 측정 오차를 크게 줄였다. 그 외에도 40G 광섬유를 사용해 센서 헤드에서 컨트롤러까지 데이터 전송에 필요한 대기 시간이 짧다. 또 컨트롤러에는 8코어 64비트 CPU, 고속 FPGA 및 AI 가속기가 장착돼 있다. 고효율 AI 알고리즘이 통합된 HPS-LCX1000은 초당 스캔 속도가 3만5000라인에 달하며 실시간 3D 포인트 클라우드 데이터 출력이 가능하다.

HPS-LCX1000 지원 작업

· 3D 지형 및 치수 측정
· 표면 결함 감지
· 곡선면 측정
· 변위 및 거칠기 측정
· 갭(gap) 및 플러시(flush) 측정
· 다층 투명 소재의 두께 측정

검사 담당 엔지니어가 센서의 유용성을 알 수 있는 작업은 다음과 같다.

· 웨이퍼 및 PCB 범프 3D 검사
· 다이(die) 결함 검출
· IC 칩 핀 3D 검사
· 와이어 본딩 결함 감지
· 각도가 높은 LED/OLED 디스플레이 프로파일 측정
· 스마트 워치 부품 측정
· 접착 효과 검사
· 자동차 및 항공우주 부품 외관 검사




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