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KLA-Tencor, 광학 및 EUV 레티클 블랭크 검사용 최신 FlashScan 제품군 발표

KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation)가 신형 FlashScan 레티클 블랭크 검사 제품군을 발표했다. KLA-Tencor는 1978년 처음으로 검사 시스템을 도입한 이래로 패턴 레티클 검사 분야에서 중대한 역할을 해왔지만, 새로 출시된 FlashScan 제품군은 레티클 블랭크 검사 전용 제품 시장으로 진출한다는 데에 그 의미가 있다. 레티클 블랭크 검사 시스템은 블랭크 제조업체에서 공정 개발 및 양산 과정 중에 결함 관리를 위해 구매하며, 레티클 […]

KLA-Tencor, 새로운 Teron™ SL650 레티클 검사 시스템 발표

KLA-Tencor Corporation은 20nm 이하의 설계 노드를 지원하는 IC 반도체 공장용의 새로운 레티클 품질 제어 솔루션인 Teron™ SL650을 발표했다. Teron SL650은 193nm 조명 기술과 다양한 STARlight™ 옵틱 기술을 기반으로 입고되는 레티클의 품질을 평가 및 레티클 변형을 모니터링하고, 패턴이 형성된 부분과 개방부의 헤이즈(haze) 증가 또는 오염과 같은 수율에 영향을 주는 불량을 감지하는 데 요구되는 감도와 유연성을 제공한다. […]

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