KLA-Tencor, 광학 및 EUV 레티클 블랭크 검사용 최신 FlashScan 제품군 발표 New Products by PEMK 매거진 - 2017-08-17 KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation)가 신형 FlashScan 레티클 블랭크 검사 제품군을 발표했다. KLA-Tencor는 1978년 처음으로 검사 시스템을 도입한 이래로 패턴 레티클 검사 분야에서 중대한 역할을 해왔지만, 새로 출시된 FlashScan 제품군은 레티클 블랭크 검사 전용 제품 시장으로 진출한다는 데에 그 의미가 있다. 레티클 블랭크 검사 시스템은
