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KLA-Tencor, 광학 및 EUV 레티클 블랭크 검사용 최신 FlashScan 제품군 발표

KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation)가 신형 FlashScan 레티클 블랭크 검사 제품군을 발표했다.

KLA-Tencor는 1978년 처음으로 검사 시스템을 도입한 이래로 패턴 레티클 검사 분야에서 중대한 역할을 해왔지만, 새로 출시된 FlashScan 제품군은 레티클 블랭크 검사 전용 제품 시장으로 진출한다는 데에 그 의미가 있다. 레티클 블랭크 검사 시스템은 블랭크 제조업체에서 공정 개발 및 양산 과정 중에 결함 관리를 위해 구매하며, 레티클 제조업체(“마스크 숍”)에서 예정된 검사 시행, 툴 모니터링 및 공정 제어의 용도로 구매하고 있다. FlashScan 시스템은 광학 또는 극자외선(EUV) 노광용으로 고안한 레티클 블랭크를 검사할 수 있다.

신형 FlashScan 레티클 블랭크 검사 제품군
신형 FlashScan 레티클 블랭크 검사 제품군

KLA-Tencor의 레티클 및 광대역 웨이퍼 검사 부문 전반 관리자인 야린 시옹(Yalin Xiong) 박사는 “발전적 노광(Advanced lithography)은 잘 특성화한 레티클 블랭크부터 시작한다”며, “결함이 없는 EUV 블랭크는 제조하기 극히 까다롭기로 악명이 높다. 비용도 많이 들고, EUV 노광이 차세대 칩 제조에 가져다줄 수 있는 여러 가지 이점을 누릴 수 있는 시점이 늦춰지고 있다. KLA-Tencor의 신형 FlashScan 블랭크 검사기는 빈 기판, 흡수층(absorber film) 및 감광 코팅면 등에 존재하는 광범위한 결함 유형을 포착할 수 있다. 또한, FlashScan 시스템은 현재 시중에서 구할 수 있는 다른 시스템에 비해 처리량과 감도가 월등한 것이 특징으로 블랭크 제조업체와 마스크 숍 측면에서는 학습 주기의 속도가 빨라지는 효과도 있다”고 말했다.

아이씨엔 오윤경 기자 news@icnweb.co.kr




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