두성기술, 고전력 디바이스 평가용 HTRB/HTGB 테스트 시스템

두성기술, 고전력 디바이스 평가용 HTRB/HTGB 테스트 시스템

두성기술(대표 강남욱, www.du-sung.com)이 개발한 반도체 신뢰성 테스트 장비인 DS2000/DS2000P System은 전력 반도체 소자(FET, IGBT, POWER Tr.), 소신호 Tr., LED 소자 및 Automotive용 IGBT 파워모듈, MOSFET 파워모듈, SiC MOSFET 파워모듈 등의 신뢰성 테스트에 사용되며, HTRB(High Temperature Reverse Bias), HTGB(High Temperature Gate Bias) 신뢰성 시험에 활용이 가능하다.

HTRB의 경우 2000V 까지, HTBG의 경우 200V 까지 Voltage Stress가 가능하며, 최대 200℃까지 Temperature Stress 평가가 가능하도록 구성됐다. DS2000 장비는 Control PC와 장비간에 Giga Ethernet Interface를 사용함으로써, DUT(Device Under Test) Current 및 Temperature를 실시간 Monitoring이 가능하다.

두성기술, HTRB/HTGB (DS2000) 반도체 신뢰성 시험 설비

두성기술, HTRB/HTGB (DS2000) 반도체 신뢰성 시험 설비

또한 DUT의 Current와 Temperature를 실시간으로 개별 측정함으로써, DUT의 열화 현상을 조기에 파악이 가능하며, Fail Limit에 도달할 경우 인가 전압을 개별로 차단함으로써 시험소자의 과도한 열화 및 열폭주 현상을 사전에 차단 할 수 있으며, 다른 시험소자의 시험을 방해하지 않고 설정 시간까지 지속적으로 시험 할 수 있다. 시험 중 또는 시험 종료 후 log 데이터를 통해서, 시험 결과를 합리적으로 분석 할 수있는 기능도 포함 되어 있다.

시스템의 Diagnostic Test(자체 검증) 기능을 통하여 본 장치의 이상 유무를 빠른 시간에 검증 할 수 있으며, 고전압 사용 시험장비 임을 고려하여, 다양한 안전사양이 설치됐다.

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